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平面抛光机对功能陶瓷的超精密加工有哪些方法?

功能陶瓷主要是指利用材料在电、磁、声、光、热等领域的直接或耦合效应,达到一定功能用途的陶瓷。目前,功能陶瓷种类繁多,平面抛光机中功能陶瓷的超精密加工涉及半导体材料、磁性材料、基片陶瓷、功能玻璃材料、压电材料等。

大部分功能陶瓷是由晶体材料或粉末形成的,这些材料或粉末不能通过类似的金属铸件或塑料加工而形成。与普通金属材料相比,功能陶瓷具有弹性系数高、硬度高、加工变质层小、晶相稳定、耐蚀性好、适用于超精密平面抛光等特点。因此,为了制造高精度、高表面质量的功能陶瓷零件,必须进行超精密加工。

然后平面抛光机被以下功能陶瓷超精密加工方法:

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1、非接触抛光

   

非接触抛光是指在抛光过程中,工件与抛光盘不接触,仅用抛光剂冲击工件表面,以获得被加工表面的完美结晶度和精确形状的抛光方法。去除量为几个到几十个原子级的抛光方法。。

   

2、界面反应抛光

当工件与磨料颗粒之间的摩擦界面处于高温高压状态时,很容易在工件表面形成一层非常薄的化合物。该反应物经抛光后容易去除,最终能有效地获得表面粗糙度低于纳米水平的理想表面。它是目前功能陶瓷和器件基板精密加工的主要方法


3、电场和磁场抛光加工

电场和磁场抛光是利用和控制电场和磁场的强度,使磨料颗粒在工件上获得高形状精度、高表面质量和无晶体畸变表面的一种抛光方法。主要用于精密机械的信息设备和高性能元器件的加工。

   

4、ELID超精密磨削技术  

使用微细铸铁维基金刚石砂轮超精密加工,稳步研磨,实现了硅片的精磨削。各种材料可用于处理单晶硅、光学玻璃晶片、LED蓝宝石基板等。表面粗糙度可以是NM级,可选地研磨和抛光。

   

5、火花磨削

陶瓷的低粗糙度磨削是通过热水合反应实现的。

   

6、孔加工技术

 陶瓷硬脆材料的孔加工技术主要是超声波加工和激光加工。由于功能陶瓷主要是表面加工,所以在功能陶瓷加工中没有得到广泛的应用。

超精密表面的抛光技术是移动的制造成本低,加工效率高的发展方向。随着抛光研究的不断深入,提高加工质量,会发生抛光的更实用的方法。


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